1.晶圆缺陷粒子检测系统 颗粒和缺陷: 颗粒和缺陷导致晶圆表面不规则形貌。 散射入射光: 通过检测散射光来监测颗粒和缺陷。 晶圆缺陷检测系统可以通过获取缺陷的(X,Y)坐标来检测晶圆上的物理缺陷(颗粒)和图案缺陷并绘制map,这些颗粒可以借助光散射现象来检测: 1)激光束在椭圆镜的一个焦点处垂直扫描晶圆表面,光电探测器放置在另一焦点处; 2)移动晶圆,收集散射光以检测微小颗粒和缺陷; 3)绘制晶圆表面上的颗...
2024-06-27 11:42:06