随着现代工业的快速发展, 精密光学元件在各个工业领域有着广泛的应用, 光学元件作为实现光学功能的载体, 为各类光学仪器的开发使用起到了至关重要的作用。所以, 鉴于光学元件表面具有的散射特性, 如何更好地对元件表面缺陷进行检测也随之被提出来。 光学元件的检测过程十分繁琐并且充满着不确定性, 光学元件按组成材料可分为普通光学玻璃、钕玻璃、熔融石英光学玻璃、氟化钙(CaF2)等一系列材料; 按光学元件口径可有大到几米也有小到一二毫米的, 差别可达到数千倍; 按光学元件外形...
2023-12-14 09:28:39